Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất lượng cao
/ Nguyễn Thành Hợp, ThS (chủ nhiệm đề tài)
, Phạm Hồng Tuấn, TS; Nguyễn Tuấn Vũ, KS; Võ Thế Ngọc, KS; và những người khác.
- Hà Nội :
Ttâm Quang điện tử
, 2012.
- 109 tr.
Giới thiệu kết quả nghiên cứu và chế tạo 02 đầu phún xạ cho bia titan và silic; Xây dựng 01 hệ thiết bị để chế tạo các màng mỏng điện môi bằng công nghệ xung; Nghiên cứu chế tạo hai loại vật liệu màng TiO2/SiO2 bằng phún xạ xung; Chế tạo lớp mạ bán phản xạ SR và giảm phản xạ AR trên linh kiện quang sử dụng TiO2/SiO2
