|
Đã thiết kế và chế tạo một số trang thiết bị bổ sung cho dây chuyền SX điốt 1 ampe: tủ tráng phủ hợp kim PbSn lên phiến Si, tủ ăn mòn hóa tạo chíp, máy đo thông số VRWM, máy thử khả năng chịu xung dòng, dàn thử tuổi thọ. Đã XD một số PP công nghệ: pha tạp donor và acceptor để chế tạo điốt nắn điện, mạ hóa niken vỏ silic và PP bốc hơi chân không tạo điện cực, các bước của khâu lắp ráp, PP tạo chíp bằng ăn mòn hóa học, các PP đo lường thử nghiệm điốt. Hoàn chỉnh quy trình chế tạo điốt nắn điện 1 ampe loại SD261-267 thích hợp với điều kiện VN và sử dụng nhiên liệu vật tư trong nước
|
