Đã XD được quy trình chế taọ các thỏi đơn tinh thể silic theo PP Czoch-Ralski trên các máy kéo có sẵn của nhà máy Z181, với các chỉ tiêu: định hướng 111 và 100, đường kính 51mm, pha tạp phốtpho và bo, nồng độ lệch mạng 5.104cm2, điện trở suất từ 0,1 ôm.cm-40 ôm.cm; quy trình gia công cơ học phiến silic có đường kính 10 m, độ sâu lớp rạn 20 m. Đã XD dây chuyền SX phiến silic từ đa tinh thể
|