|
Nghiên cứu chế tạo một số vi cơ cấu (mô tơ, bánh răng siêu nhỏ) sử dụng trong các hệ thống Micro Robot phục vụ trong lĩnh vực Y sinh dựa trên công nghệ MEMS
/ Phạm Hồng Phúc, TS (chủ nhiệm đề tài)
, Đặng Bảo Lâm, ThS; Đinh Khắc Toản, ThS; Nguyễn Tuấn Khoa, ThS; và những người khác.
- Hà Nội :
Trường Đại học Bách khoa
, 2012.
- 104 tr.
|
|
Tổng quan về vi mô tơ và hệ thống tay kẹp dẫn động bằng actuator nhiệt. Mô phỏng cấu trúc mô tơ, bánh răng, vi tay kẹp. Tính toán động học và động lực học cho hệ thống. Thiết kế bản vẽ và lập quy trình chế tạo hệ thống. Kết quả các bước chế tạo hệ thống (làm sạch tấm SOI, sấy khô, quay phủ lớp photoresist...). Đánh giá kết quả đo đạc và các đặc tính của hệ thống
|
