|
Thiết kế bộ vi cảm biến vận tốc góc công nghệ MEMS bằng phương pháp động lực học lưu chất CFD
/ TS. Phan Thanh Hòa (chủ nhiệm đề tài)
, ThS. Lê Văn Thái, TS. Đậu Thành Văn, TS. Đinh Xuân Thiện, ThS. Vũ Trung Kiên.
- Hà Nội :
Trường Đại học Công nghiệp Hà Nội
, 2015.
|
|
Thiết kế mô phỏng cảm biến vận tốc góc lưu chất 3 bậc tự do mới ở kích thước tối thiểu bằng mô phỏng động lực học lưu chất CFD. Nghiên cứu đặc điểm làng dao động PZT. Thiết kế cấu trúc của cảm biến vận tốc góc 3 bậc tự do. Cấu trúc của cảm biến được phát triển và tối ưu hóa thông qua phương pháp mô phỏng CFD. Nghiên cứu phong tốc kế, thiết bị ngoại vi cảm biến. Để đo vận tốc góc với độ nhạy cao, sự truyền nhiệt giữa phong tốc kế và dòng chất lỏng jet-flow được xem xét và điều chỉnh cho đối lưu cưỡng bức với vận tốc cực nhỏ.
|
