|
Nghiên cứu chế tạo cảm biến dây nano ôxit kim loại bán dẫn bằng phương pháp mọc trực tiếp (on-chip) và ảnh hưởng của chiếu sáng UV đến tính chất nhạy khí
/ GS.TS. Nguyễn Văn Hiếu (chủ nhiệm đề tài)
, TS. Nguyễn Đức Khoáng, PGS.TS. Hoàng Sĩ Hồng, ThS. Nguyễn Văn Toán, ThS. Phùng Thị Hồng Vân, ThS. Bùi Thị Thanh Bình, CN. Đinh Văn Thiên.
- Hà Nội :
Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội
, 2015.
- 110 tr.
|
|
Thiết kế và chế tạo công nghệ cảm biến khí dây nano oxit bằng phương pháp mọc on-chip. Khảo sát ảnh hưởng của chiếu sáng UV đến tính chấy nhạy khí của cảm biến dây nano ôxit. Khả năng phát triển các loại cảm biến hóa học, cảm biến sinh học, cảm biến quang học trên cơ sở dây nano ôxit chế tạo bằng phương pháp mọc on-chip
|
