|
Nghiên cứu công nghệ chế thử màng giảm phản xạ cho linh kiện quang học của các thiết bị ảnh nhiệt
/ ThS. Nguyễn Thành Hợp (chủ nhiệm đề tài)
, TS. Phạm Hồng Tuấn, KS. Nguyễn Tuấn Vũ, ThS. Trần Thị Hà, ThS. Nguyễn Văn Chiến, Nguyễn Thị Thanh Lan, CN. Phạm Kim Thu.
- Hà Nội :
Trung tâm Quang điện tử
, 2018.
- 129 tr. + phụ lục
|
|
Công nghệ chế tạo một số màng mỏng sử dụng cho vùng hồng ngoại. Nâng cao độ bám dính của hệ màng nhiều lớp. Thiết kế hệ màng giảm phản xạ vùng bước sóng từ 3-5 micromet cho vật liệu đế Si. Thử nghiệm mạ hệ màng giảm phản xạ vùng bước sóng từ 3-5 micromet cho vật liệu đế Si. Khảo sát, đánh giá chất lượng của các hệ màng giảm phản xạ chế tạo bao gồm độ bám dính, khả năng chịu mài mòn, ảnh hưởng của điều kiện môi trường.
|
