|
Chế tạo thiết bị mạ chân không theo phương pháp hồ quang
/ KS. Nguyễn Tuấn Vũ (chủ nhiệm đề tài)
, TS. Phạm Hồng Tuấn, ThS. Nguyễn Thành Hợp, KS. Nguyễn Văn Chiến, KS. Nguyễn Văn Vụ, KS. Trần Thị Hà, CN. Phạm Kim Thu.
- Hà Nội :
Trung tâm Quang điện tử
, 2015.
- 113 + Phụ lục
|
|
Tổng quan về công nghệ mạ hồ quang chân không. Sơ đồ hệ thống của thiết bị mạ hồ quang chân không và ứng dụng của công nghệ mạ hồ quang chân không. Thiết kế, chế tạo hệ thống tạo chân không. Thiết kế, chế tạo các thiết bị công nghệ mạ theo phương pháp hồ quang. Thiết kế, chế tạo hệ thống điều khiển. Lắp đặt và thử nghiệm hệ thống thiết bị mạn hồ quang chân không. Thiết lập thông số công nghệ ché tạo màng cứng TiN và màng cứng CrN.
|
