Nghiên cứu chế tạo linh kiện cảm biến sinh học trên cơ sở thanh rung áp điện sử dụng màng mỏng sắt điện / TS. Nguyễn Đức Minh (chủ nhiệm đề tài) , PGS.TS. Vũ Ngọc Hùng, TS. Trịnh Quang Thông, ThS. Nguyễn Thị Quỳnh Chi, ThS. Phạm Văn Bình, KS. Nguyễn Văn Toán, KS. Nguyễn Quang Long. Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu - 13 + Phụ lục

   Nhóm tác giả đã nghiên cứu tối ưu hóa quy trình công nghệ chế tạo màng mỏng áp điện PZT trên đế Si bằng phương pháp sol-gel. Chế tạo màng mỏng LaNiO3 trên đế SI với độ đồng đều cao và độ dẫn điện tốt. Tính chất sắt điện và áp điện của màng mỏng PZT đã được cải thiện thông qua cấu trúc màng dị lớp. Tính chất sắt điện và áp điện của màng mỏng PZT đã được cải thiện bằng việc pha tạp nguyên tố (Nb, Fe). Đã phát triển được phương pháp đơn giảm nhằm tăng cường khả năng quay của domain sắt điện dưới tác dụng của điện trường. Thiết kế và chế tạo các linh kiện cảm biến với cấu trúc dạng màng chắn và thanh rung. Độ nhạy và hệ số phẩm chất của linh kiện cảm biến với các cấu trúc khác nhau đã được khảo sát.

Xem chi tiết

   Tìm kiếm cơ bản    Tìm kiếm nâng cao