Nghiên cứu chế tạo dây nano silíc đơn tinh thể và linh kiện cộng hưởng hệ số phẩm chất cao trên cơ sở công nghệ vi cơ khối ướt cho ứng dụng trong các hệ thống nano / TS. Chu Mạnh Hoàng (chủ nhiệm đề tài) , TS. Vũ Thu Hiền, PGS.TS. Vũ Ngọc Hùng, ThS. Nguyễn Quang Long, KS. Hà Sinh Nhật, KS. Đặng Văn Hiếu, KS. Hoàng Quốc Khanh. - Hà Nội : Viện ITIMS, Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội , 2016. - 12 + phụ lục

   Nghiên cứu đưa ra quy trình công nghệ chế tạo dây nano silíc đơn tinh thể chất lượng cao trên cơ sở công nghệ vi cơ khối ướt cho các ứng dụng trong hệ thống cơ điện tử nano, cảm biến quang và mạch quang tích hợp trong truyền thông quang. Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các tính chất cơ và điện của dây nano silíc. Kết quả thu được sẽ là cơ sở cho việc nghiên cứu chế tạo các linh kiện cộng hưởng nano hoạt động ở tần số cao với hệ số phẩm chất cao. Nghiên cứu xây dựng mô hình lý thuyết đánh giá các hiệu ứng suy hao năng lượng đối với linh kiện dao động ở dải tần số MHz. Kết quả mô phỏng lý thuyết sẽ được kiểm chứng so sánh với kết quả khảo sát thực nghiệm đối với dây nano silíc được chế tạo. Nghiên cứu thiết kế chế tạo linh kiện cộng hưởng dây nano silíc có hệ số phẩm chất lớn hơn 10.000 cho các ứng dụng trong mạch cơ tần số MHz và linh kiện cộng hưởng có hệ số phẩm chất lớn hơn 500 cho cảm biến nhạy khối lượng. Nghiên cứu thiết kế chế tạo bộ cộng hưởng micro-toroid cho các ứng dụng trong cảm biến quang và mạch quang tích hợp.

Xem chi tiết

   Tìm kiếm cơ bản    Tìm kiếm nâng cao